气动超高真空阀(VULPCD-□CM系列)
本产品(VULPCD系列)是用压缩空气驱动的L型阀门。主要在超高真空系统里作为重要的开启或关闭元件。VULPCD-□CM系列的阀门的主要部件材质为不锈钢。该系列阀门的使用寿命可高达100万次。该系列阀门的使用环境要求清洁干净、没有污染。请结合实际用途选择使用。
型号：VULPCD-10CM, 25CM
VULPCD-10CM, 25CM外形尺寸一览表：
| |
VULPCD-10CM |
VULPCD-25CM |
| A |
30 |
50 |
| B |
119 |
180 |
| C |
3 |
8 |
| D |
70 |
108 |
| E |
47 |
74 |
| F |
M5 |
M5 |
| G |
36 |
34 |
| H |
33.8 |
69.3 |
| I |
10 |
35 |
| J |
7.2 |
12.7 |
| K |
27.0 |
58.7 |
| L-M |
6-Ф4.4 |
6-Ф6.8 |
型号：VULPCD-40CM, 65CM, 100CM, 150CM
VULPCD-40CM, 65CM, 100CM, 150CM外形尺寸一览表：
| |
VULPCD-40CM |
VULPCD-65CM |
VULPCD-100CM |
VULPCD-150CM |
| A |
63 |
95 |
131.1 |
162.7 |
| B |
220 |
290 |
375 |
442 |
| C |
26 |
36 |
55 |
40 |
| D |
121 |
177 |
223 |
298.6 |
| E |
74 |
102 |
162 |
240 |
| F |
PT 1/8 |
PT 1/8 |
PT 1/4 |
PT 3/8 |
| G |
45 |
52 |
77 |
94 |
| H |
69.3 |
113.5 |
151.6 |
202.4 |
| I |
35 |
60 |
96 |
149 |
| J |
12.7 |
17.5 |
19.8 |
22.4 |
| K |
58.7 |
92.2 |
130.3 |
181.1 |
| L-M |
6-Ф6.8 |
8-Ф8.5 |
16-Ф8.5 |
20-Ф8.5 |
气动高真空与超高真空阀主要技术参数：
| 规格 |
VLPCD-U□s(高真空) |
VULPCD-□CM(超高真空) |
| 阀体及主要部件材质 |
不锈钢 |
不锈钢 |
| 密封件材质 |
氟橡胶 |
氟橡胶 |
| 介质温度(℃) |
<120 |
开: <200 关: <150 |
| 使用压力范围(Pa) |
105 ～ 10-5 |
105 ～ 10-8 |
| 漏率(Pa•m3/s) |
<7.0×10-9 |
<1.3×10-11 |
| 环境温度(℃) |
5 ～ 40 |
5 ～ 40 |
| 动作方式 |
压缩空气动作 |
压缩空气动作 |
| 压缩空气压力(MPa G) |
0.4 ～ 0.6 |
0.4 ～ 0.7 |
| 开关信号输出 |
CS1-J(磁性开关) |
CS1-J(磁性开关) |
| 备注 |
VLPCD-U3/4s ～ 4s 逆向压力可用
VLPCD-U6s ～ 36s 不能逆压使用 |
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碳制品
