气动高真空阀(VLPCD-U□s系列)

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气动高真空阀(VLPCD-U□s系列)

　　本产品(VLPCD系列)是用压缩空气驱动的L型阀门。主要在高真空系统里作为重要的开启或关闭元件。VLPCD-U□□s系列的阀门的主要部件材质为不锈钢。该系列阀门的使用寿命可高达100万次。请结合实际用途选择使用。

型号：VLPCD-U4s ～ VLPCD-U10s

型号：VLPCD-U3/4s ～ VLPCD-U3s

外形尺寸一览表：

气动高真空与超高真空阀主要技术参数：

规格	VLPCD-U□s(高真空)	VULPCD-□CM(超高真空)
阀体及主要部件材质	不锈钢	不锈钢
密封件材质	氟橡胶	氟橡胶
介质温度(℃)	<120	开: <200 关: <150
使用压力范围(Pa)	10⁵ ～ 10^-5	10⁵ ～ 10^-8
漏率(Pa•m³/s)	<7.0×10^-9	<1.3×10^-11
环境温度(℃)	5 ～ 40	5 ～ 40
动作方式	压缩空气动作	压缩空气动作
压缩空气压力(MPa G)	0.4 ～ 0.6	0.4 ～ 0.7
开关信号输出	CS1-J(磁性开关)	CS1-J(磁性开关)
备注	VLPCD-U3/4s ～ 4s 逆向压力可用 VLPCD-U6s ～ 36s 不能逆压使用